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尊龙人生就是搏网站维意真空技术应用有限责任公司

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经营模式: 生产制造

所在地区: 尊龙人生就是搏网站市 

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尊龙人生就是搏网站维意真空技术应用有限责任公司是ALD原子层沉积镀膜设备,PECVD设备,磁控溅射镀膜机的优良生产制造厂家,竭诚为您提供全新的K型热电偶真空馈通法兰,钙钛矿热蒸发镀膜机,一体式光纤真空馈通法兰等系列产品。

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热蒸发镀膜机-- 新闻资讯

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“热蒸发镀膜机-- 新闻资讯”参数说明

种类: 感应加热设备

“热蒸发镀膜机-- 新闻资讯”详细介绍

热蒸发镀膜机-- 新闻资讯基本介绍
  • 热蒸发镀膜机-维意真空

  • 设备用途:

这是一台高真空单室有机/金属热蒸发镀膜设备,主要用于有机半导体材料的物理化学性能研究实验、有机半导体器件的原理研究实验。
    该设备具有有机材料热蒸发—沉积和金属材料热蒸发—沉积成膜功能。它是在高真空条件下,通过加热材料的方法,在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜,在衬底上沉积各种金属或合金电极并形成器件。

热蒸发镀膜机-- 新闻资讯性能特点
  • 热蒸发镀膜机-维意真空设备主要技术特点:
    1、蒸发源组件石英复合组件,为电流控制方式,配有电压表与

电流表,3套蒸发源可实现2对共蒸, 2个金属蒸发源(电

极水冷),配有2套电控系统,额定电压5V,额定电流300A。
2、最大样品尺寸100*100mm。
3、真空获得为复合分子泵+机械泵,配有预抽真空系统,可在

分子泵不停止的情况下实现换样品,设备30分钟以内

2*10-3pa,极限压力8*10-4pa。
4、密封刀口无氧铜金属密封,其余用氟胶圈,真空管路用不锈

钢金属波纹管路,采用 真空阀门。
5、每个蒸发源配挡板,基片配挡板,保证镀膜的可控性。
6、样品旋转可在0-30转/分钟调速及定位。

 

热蒸发镀膜机-- 新闻资讯技术参数

  • 热蒸发镀膜机-维意真空设备主要组成:

该设备由一台有机/金属真空蒸发镀膜室、分子泵真空机组、样品传送装置、电控系统、膜厚检测、组成。

真空镀膜室:1组有机蒸发源、2组金属蒸发源、旋转样品台、样品挡板、真空获得与测量、电源系统等组成。真空室为前开门式,便于取放样品及换蒸发源,主机与机柜分体式便于维护,每组蒸发源之间有隔板隔离,避免相互污染。

工作条件及主要技术参数:
1、供电:~380V三相五线供电系统(整机容量6KW),环境温

度10℃~40℃,冷却水循环量0.3M3/H,水温度15℃~

30℃,气源压力6公斤,6毫米塑料管。
       2、极限真空:8×10-4Pa(新设备);工作背景真空:2×10-3Pa;

恢复工作背景真空时间30分钟左右。

 
五、热蒸发镀膜设备配置参数:

(一)、真空室及组件1套。
1)、 450*450*500主真空室(包括:不锈钢U型室及门法兰1套、XF100观察窗及接管1套、可装电极及接管的底法兰1套、CF150法兰座及接管1套、CF63法兰座及接管1套、CF35法兰座及接管2套、旋转及挡板法兰座1套、KF16接口1件)。
2)、 减速电机控制可旋转、定位及调速样品台1套。
3)、 外控样品台旋转档板1套。
4)、 金属及有机物蒸发源3套。(电极水冷)
5)、 外控蒸发源挡板3套。(电动磁力转轴)
6)、 带脚轮、支脚、围板机架1套。
(二)、真空获得1套。
1)、 真空室与插板阀连接管道1套(包括KF40预抽阀连接法兰)。
2)、 KF40手动高真空角阀2只。
3)、 CF150插板阀2只。
4)、 600升复合分子泵1套。
5)、 KF25手动高真空角阀1只。
6)、 KF40*1米前级不锈钢波纹管2根。
7)、 KF40四通通1只。
8)、 KF25*1.3米预抽不锈钢波纹管1根。
9)、 KF40压差阀1只。
10)、 合资6升机械泵1台。
11)、 KF16手动充气阀2只。
12)、 KF40卡箍9只。
13)、 KF25卡箍3只。
14)、 KF16卡箍3只。
(三)、电器控制1套。
1)、 1.6米机柜1套。
2)、 真空测量1套。(复合真空计)
3)、 蒸发加热控制电源3套(含尊龙人生就是搏网站)。
4)、 旋转、阀门、照明及蒸发源挡板控制电源1套。
5)、 总控电源1套。
(四)、其余配件:
1)、 样品架2套
2)、 过渡真空室1套
3)、 磁力传送杆1套
4)、 膜厚仪1套。(注:水冷探头)
5)、 冷却水循环机1套
(五)、密封件及紧固件等。
(六)、设计调试及运输。


 

 

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