三温区PE-CVD镀膜设备- 发布
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产品详情
“三温区PE-CVD镀膜设备- 发布”参数说明
加工定制: | 是 | 品牌: | 维意真空 |
“三温区PE-CVD镀膜设备- 发布”详细介绍
三温区PE-CVD镀膜设备
三温区PE-CVD技术参数
名称 |
规格 |
产品名称 |
PECVE智能一体机 |
显示模式 |
7"真彩触摸屏液晶显示(LCD) |
温度曲线 |
30段"时间—温度曲线"任意可设 |
预存曲线 |
可预存15条温度曲线 |
操作界面 |
图形界面提示,触摸屏输入 |
温度曲线 |
实时监控,动态显示“时间-温度曲线” |
超温报警 |
有 |
断偶提示 |
有 |
测温元件 |
S型热电偶 |
升温速率 |
0-30 ℃/min |
工作电源 |
AC380V /50HZ |
整机功率 |
12KW |
最高温度 |
1400℃ |
长期工作温度 |
1350℃ |
加热区域 |
三个加热区域 |
控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制, |
质量流量计:四路 |
型号采用D07-7及对应显示仪表 |
气体种类 |
气:200sccm :100 sccm氮气:750 sccm氩气:300 sccm |
射频电源 |
功率500w,频率:13.56MHz |
真空计 |
测量范围0.01-100000Pa |
真空泵 |
TRP-36 |
真空度 |
5Pa |
手持式测温仪 |
S型热电偶 长度500mm |
刚玉管 |
100*2000 |
石英管 |
100*2000 |
石英管 |
80*2000 |
软件功能 |
1:加热温区移动速度触摸屏可以调节。 2:射频电源开启时间,可以设定,时间到后自动停止射频电源。 3:自动切换气体功能,(不同温度通入不同气体,或者根据要 求进行定做)。 4:自动检测真空度,根据真空度的大小,自动启动射频电源。 5:真空泵自动启动,根据真空度,系统自动判断是否需要启动 真空泵。 6:其他功能根据要求定做. |
包装模式 |
三合板木质包装箱 |
随机配件 |
石英舟3只;刚玉坩埚3只;炉钩一个;高温手套一套;随机工具;说明书1份;。 |
三温区PE-CVD镀膜设备
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