E1200卧式热反应系统
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产品详情
“E1200卧式热反应系统”参数说明
| 是否有现货： | 否 | 认证： | 厂家认证 |
| 品牌： | 德国centrotherm | 自动化程度： | 全自动 |
| 是否加工定制： | 是 | 电流： | 交流 |
| 型号： | E1200 | 商标： | 德国centrotherm |
| 产量： | 10000 |
“E1200卧式热反应系统”详细介绍
E1200卧式热反应系统基本介绍
E1200卧式热反应系统性能特点
- 产品简介
E1200型卧式热反应系统是由德国centrotherm公司研制的特为研发、小批量生产用热反应系统。具有小体积、高工艺性能等特点
可用作常压CVD、LPCVD、PECVD、扩散、氧化、退火等工艺过程，以优良的品质、极小的体积、 的特点，特别适合低产量、多工艺适应性加工要求的研发或小批量生产。
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- 工艺特性
- 常压工艺
- LPCVD工艺
- PECVD工艺
- 产品特性
- 可搭配4组石英管或碳化硅管反应炉；
- 清洁的自动载舟系统；
- 反应炉独立控制提供了 的小批量或复杂工艺能力；
- 的水冷却系统设计杜绝反应炉的温度干扰不耗用洁净室空气；
设备参数：
反应炉使用晶片尺寸：150mm（ 50片）或200mm（ 25片）
加热系统：3组300mm恒温区，温差0.5℃；
温控范围：200℃～1300℃；
可处理工艺气体种类：H2、Ar、N2O、N2、SiH4、NH3、B2H6、PH3、SiH2Cl2；
系统总功率：55kW
电源供给：400V.80A；
压缩空气：600～1000kPa；
冷却水流量：50～70LPM
排气能力：400m3/H
E1200卧式热反应系统技术参数
E1200卧式热反应系统使用说明
E1200卧式热反应系统采购须知
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