二、管式扩散炉特点  

高精度温度控制

新型炉体设计，提高了温度稳定性；配合高精度温控仪的使用，保证工艺过程中温度的快速稳定。

软着陆载片装置

软着陆送料装置，避免了SiC桨的遮挡影响，提高了扩散均匀性，同时桨的清洗周期大幅度延长。

高性能进口元器件组合

关键件采用进口管件，且为半导体级别；元器件组合，从而保证成膜质量。         

三、管式扩散炉主要技术参数                             

工艺管数量：1-4管

工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）

结构型式：卧式热壁型

工作温度范围：400～1280℃

超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）

          噪音：≤62dB（A）

          震动：≤3μm

恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm

工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆）

气体流量设定精度:±1％F.S

气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s

控制方式： 工业微机控制

记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制

青岛晨立电子有限公司可根据客户需求定制各种非标管式炉、高温炉、扩散炉、焊接炉、硒化炉、气氛炉、烤盘炉、扩散炉控制系统、真空炉、升华炉、隧道炉、氧化炉、退火炉、LPCVD炉、 气炉、工业炉体等各种工业电炉、实验电炉等高温设备。专业团队个性化定做，厂家直接供货，欢迎广大客户来电来函。