产品描述

青岛晨立电子有限公司

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经营模式: 生产制造

所在地区: 山东省  青岛市

认证信息: 身份认证

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青岛晨立电子有限公司是扩散炉,焊接炉,真空炉的优良生产制造厂家,竭诚为您提供全新的立式水冷炉体-青岛晨立电子,太阳能炉体-青岛晨立电子,扩散炉炉体-青岛晨立电子等系列产品。

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扩散炉--三管扩散炉 青岛晨立电子有限公司

图片审核中 扩散炉--三管扩散炉 青岛晨立电子有限公司
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价格 面议
起批量 1
供货总量 200台
产地 山东省/青岛市
发货期 自买家付款之日起35天内发货
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产品详情

“扩散炉--三管扩散炉 青岛晨立电子有限公司”参数说明

是否有现货: 认证: 中国半导体行业
品牌: 晨立 自动化程度: 全自动
是否加工定制: 电流: 直流
型号: CL 规格: CL
商标: 晨立 包装: 木箱
产量: 200

“扩散炉--三管扩散炉 青岛晨立电子有限公司”详细介绍

外型形式:

     卧式3管结构扩散炉主要满足半导体尊龙人生就是搏网站电子器件行业、大功率集成电路等行业,对所

加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超

净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。


技术指标:

可处理硅片尺寸:2—8英寸

工作温度:200—1300

恒温区长度及精度:200mm—100mm≤±0.5

单点温度稳定性、重复性:≤±1.524h

温度斜变:可控升温速率20min

可控降温速率:5min

送片装置:全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉

气路系统:1—5路工艺气体/管

气体控制:全自动MFC、手动浮子流量计

控制方式:工控机、触摸屏

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