等离子是由电子、离子、自由基和中性离子流组成，工作状态呈流星雨状导电性流体，属固态、液态、气态之外第四种物质形态。等离子发生器整体保持电中性，可靠。按离子的温度，等离子分为热平衡等离子体、非平衡等离子体和低温等离子体。

等离子体是被称作除固态、液态和气态之外的 种物质存在形态。其由大量电子、离子、分子、中性原子、激发态原子、光子和自由基等组成，总正负电荷数相等，宏观上呈电中性，故称为等离子体，但其表现出很高的化学活性。根据放电机制、(气体)压强范围和电极结构的不同，产生低温等离子体通常有以下方法：辉光放电、介电位垒放电、电晕放电、沿面放电、射频放电、微波放电等。

废气和恶臭气体经过等离子体电场区，在纳秒级时间范围内，等离子猛烈轰击废气和臭味等污染物分子，产生裂变分解反应，产生高浓度、高强度、高能量的各种活性自由基、高能电子、高能离子等，同时产生大量臭氧、原子氧、生态氧等混合气体，进行一系列复杂的分化裂解和氧化还原反应；