一、真空管式炉简介

真空炉、真空管式炉、气氛烧结炉、真空烧结炉、真空气氛炉、管式真空气氛烧结炉为我公司根据客户需求专业定制的真空气氛热处理设备，主要用于氮化硅镀膜、陶瓷电容器（MLCC）气氛烧结及退火等工艺。本设备具有：关键部件进口、自动化程度高、温度均匀、控制稳定等特点，是理想的科研及生产设备。

二、真空管式炉技术指标

1、外型形式：单管卧式，可根据客户需求定制
2、加热器形式：固定式加热器（产品随炉升、降温）
3、加热元件：硅钼棒
4、工艺管材质：高纯AL2O3
5、最高工作温度：1600℃ 
6、持续工作温度：1500℃
7、升温速度：1-15℃/min
8、控温精度：±1℃
9、炉管尺寸：Φ100*1200mm
10、加热区尺寸：600mm
11、恒温区长度：300mm
12、最大加热功率10KW，保温功率5KW
13、反射板：产品与炉口之间有数层反射板，以减少高温对炉口的热辐射。反射板采用高纯AL2O3制作，结构为可方便拆卸结构。
14、气路：N2、H2、NH3
15、极限真空度：1.0*10-1Pa
16、 充气正压：30KPa
17、真空计：采用数字式压力传感器
18、温控系统：日本岛电32段可编程温控仪
19、控制方式：调功调压
20、密封系统冷却方式：水冷
21、操作方式：手、自动两种操作方式
22、报警及保护：系统设有超温报警及保护、断偶报警及保护、真空系统阀门互锁保护、缺水报警及保护
23、供电电源：AC380V±10%、50Hz
24、总功率：10KW、三相五线制

青岛晨立电子有限公司可根据客户需求专业化定制各种：管式炉、真空炉、管式真空炉、真空管式炉、真空烧结炉、气氛炉、管式气氛炉、管式气氛烧结炉、真空气氛炉、热处 氛炉、气氛保护箱式炉、热处 氛炉、箱式气氛炉、保护气氛炉、高温气氛炉、气氛保护炉、加热气氛炉等各种真空气氛保护热处理设备，欢迎广大客户来电来函。